低速氣動不銹鋼閥門Key High 公司的低速泵閥系列（SPV）是一系列經濟實用、易于操作的閥門。SPV 系列閥門是兩級閥門，可提高生產率并減少真空系統(tǒng)內的湍流。Key High 的 SPV 系列閥門具備我們在"PSA"系列閥門中經過現(xiàn)場驗證的所有特點。SPV 閥門在主閥內集成了一個小型旁通閥。這種設計方法結構緊湊，最小化了組件的物理占用空間。操作方式SPV閥門是兩級閥門。首先打開旁通閥，緩慢啟動泵降循環(huán)。一旦腔室達到指定的真空壓力，主閥就會打開，實現(xiàn)全速抽氣。SPV閥門采用可拆卸節(jié)流孔設計，讓用戶對泵降循環(huán)有更多控制。Key High的SPV閥門專為控制敏感應用的泵降循環(huán)而設計。當與我們的DF系列擴散器配合使用時，幾乎可以消除基片排氣、湍流和顆粒物問題。我們的SPV系列閥門已成功安裝在許多應用中，包括半導體和光學行業(yè)。它們允許對粗抽過程進行精確控制。特點：  結構緊湊  波紋管密封  標準法蘭接口  所有GTAW焊縫均為內部或100%熔透  可互換節(jié)流孔，標準尺寸有.093"、.125"、.187"  旁通閥常閉，故障安全  包含120/60電磁閥，可根據(jù)要求提供其他電壓強力迷你不銹鋼閥門，手動操作Key High的強力迷你系列閥門專為當今設備設計。外殼空間十分寶貴，而強力迷你的緊湊占地面積解決了這一顧慮。強力迷你系列閥門提供標準接口（管端、NW-ISO法蘭和Met密封法蘭）。• 不銹鋼結構• 成型波紋管閥桿密封• 開啟位置時的可視位置指示器